SE200BE-M450 大型光譜橢偏儀
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SE200BE-M450
- 產(chǎn)地 info@felles.cn
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/8/7 20:45:49
- 訪問次數(shù) 1854
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),交通 |
大型光譜橢偏儀SE200BM-M450具有450mm直徑樣品臺,提供更為安全的樣品操作和定位,具有250-850nm的波長范圍,是美國Angstrom公司為大尺寸樣品薄膜厚度測量而設(shè)計的美國進口光譜橢偏儀,Spectroscopic,Ellipsometer,具有高性價比橢偏儀價格和橢偏儀品牌。
與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是,光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù),這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力,因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種,一種是手動調(diào)節(jié),一種是自動調(diào)節(jié)入射角,我們可提供兩種模式的橢偏儀。
大型光譜橢偏儀特色
特別為大尺寸晶圓等樣品薄膜測量而設(shè)計
易于安裝,拆卸和維護
良好的光學設(shè)計
自動改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_0.01度
高功率光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式,服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直,不需要額外光學
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
大型光譜橢偏儀參數(shù)
波長范圍:250-850nm
波長分辨率:1nm
測量點大小:1-5mm可調(diào)
入射角:0-90度可調(diào)
入射角分辨率:5度
可測樣品大小:高達450mm 直徑
可測樣品厚度:高達2mm
測量薄膜厚度:0nm ---20um
測量時間:~1s/點
精度:~0.25%
重復精度:<1A