EL X-01R、EL X-02 C、EL X-02 spec 橢偏儀
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 實密國際貿易（上海）有限公司
- 品牌
- 型號 EL X-01R、EL X-02 C、EL X-02 spec
- 產地 德國
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2017/7/18 1:28:40
- 訪問次數 904
產品標簽
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DRE公司設計的基于誤差修正的步進馬達和MinSearch算法基礎上的高精度橢偏儀，測量更為簡單、快速，而且結果更為準確。樣品的Alignment非常簡單，只需調整樣品臺下方的旋鈕，改變 Light Angle和 Light Intensity，并借助四象限探測器在計算機屏幕上顯示的調整狀況，便可在不超過 30 秒鐘的時間內完成。無需經常做儀器校準。由于使用高精度的 Step Motor，且無需使用Reference Sample經常進行做儀器Calibration。可進行超薄膜（皮米級）的分析。可進行半導體Si Wafer 表面灰塵的分析，這是目前所有橢偏儀廠商中*具備此項功能的一家。薄膜粗糙度 (Roughness) 的表征也是目前所有制造廠中*特色的一家。可進行變溫（液氮至400ºC）測量。快速Mapping測量。使用X-Y 樣品臺, 進行 1 秒/點的Mapping 或微秒/點的快速掃描。可分析 8" 甚至于 12" Si Wafer的厚度變化。可進行微區分析(激光焦斑的尺寸可達1微米)。應用范圍非常廣泛：如Si襯底上的SiO2和SixNy薄膜，光電子涂層，各種磁性薄膜，平板顯示工業的 ITO薄膜和薄膜晶體管的結構，生物和化學工業的各種有機層、分子膜，光觸媒用TiO2 薄膜分析，鋁熱交換器表面抗氧化薄膜，奔馳汽車引擎或汽缸激光焊接前的清潔薄膜分析等。同時，提供多種光譜儀選擇，如回轉檢偏器（RAE），高精度，消光型（Null Ellipsometer），光譜型（Spectroscopic Ellipsometer，190~2400 nm，可選），超高精度傳動等。
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