S-4800日立掃描電子顯微鏡（SEM）

Hitachi S-4800簡(jiǎn)介：

日本Hitachi公司生產(chǎn)S-4800型SEM，采用的E×B技術(shù)，可以分別收集和分離單純二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號(hào)。配有X-射線能譜儀，可在形貌觀察的同時(shí)進(jìn)行樣品成分分析。

儀器主要配置：

X射線能譜儀，離子濺射儀，真空蒸鍍儀，冷凍干燥機(jī)。

主要性能指標(biāo)：

1. 二次電子分辨率：1.4nm（1kV，減速模式）；1nm（15kV）

2. 電子槍：冷場(chǎng)發(fā)射電子源

3. 加速電壓：0.5 ～ 30 kV

4. 放大倍數(shù)：×20 ～ ×800,000

5. 探測(cè)器：低位/高位二次電子探測(cè)器

應(yīng)用領(lǐng)域：

主要用于生物體、高分子、無(wú)機(jī)非金屬、金屬材料等樣品的表面形貌觀察及元素成分分析。廣泛應(yīng)用于生物、能源、材料、化工、環(huán)境等研究領(lǐng)域。

操作規(guī)范

一、 開(kāi)機(jī)前準(zhǔn)備

 1.1  制備樣品（帶口罩與手套進(jìn)行）  SEM樣品制備相對(duì)簡(jiǎn)單，原則上只要能放入樣品室的樣品，都可進(jìn)行觀察。

但需注意以下事項(xiàng)：

 a) 樣品在物理上和化學(xué)上必須要保持穩(wěn)定，在真空中和電子束轟擊下不揮發(fā)或變形， 沒(méi)有腐蝕性和放射性。（通常是干燥固體。）

 b) 由于光源是電子，樣品必須導(dǎo)電，非導(dǎo)電樣品可噴鍍金膜。金膜在一定程度上會(huì)影 響樣品原有形貌。（若樣品本身導(dǎo)電，襯底不導(dǎo)電，如藍(lán)寶石上的ZnO，只需用導(dǎo)電膠把樣品表面連到樣品臺(tái)。）

 c)  由于物鏡有強(qiáng)磁性，帶有磁性的樣品制樣必須非常小心，防止在強(qiáng)磁場(chǎng)中樣品被吸入物鏡或分散在樣品室中。通常磁性樣品必須退磁，且工作距離（WD）須大于8mm。

  具體操作過(guò)程：  

(1) 按待測(cè)樣品數(shù)量選擇樣品臺(tái)，（支持直徑d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等規(guī)格，若要觀測(cè)截面可選擇帶角度的樣品臺(tái)）。 

(2) 剪一小段導(dǎo)電膠，粘到樣品臺(tái)上。若樣品為粉末，則把粉末撒到導(dǎo)電膠上，用吸耳球或高壓氮?dú)獯祾叩魧?dǎo)電膠上未粘緊的粉末；若是塊狀樣品，則把樣品牢牢粘到導(dǎo)電膠上，用手輕輕推，樣品不會(huì)左右晃動(dòng)。（為觀測(cè)時(shí)方便定位，將樣品排列成行（或列），并在行下方（或列左側(cè)）標(biāo)上數(shù)字編號(hào)。） 

(3) 樣品粘貼完成后，用吸耳球或高壓氮?dú)獯祾叩魳悠放_(tái)上的粉末、灰塵、水珠、唾沫等（會(huì)影響照片質(zhì)量，甚至使真空度下降而無(wú)法加高壓，*認(rèn)真執(zhí)行。） 

1.2 查看真空度  打開(kāi)前面板蓋，點(diǎn)擊MODE按鈕直至IP1指示燈閃，在登記表記下MULT INDICATOR數(shù)碼顯示管的讀數(shù)，同理讀取IP2，IP3并記錄。確認(rèn)IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。（通常情況都是IP1顯示0E-8，IP2顯示0E-8，IP3顯示0E-8或aE-7,1<a<9。）