產品介紹：
四探針電阻率測試儀是按ASTM F84硅片電阻率測量的要求，用于對硅材料電阻率的測量。
規格參數：
雙數字表：一個數字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一個數字表監測過程中的電流變化。
電壓量程：0-199.9mV
基本誤差：±(0.4-0.5%讀數+0.1%)
靈敏度：100μV
輸入阻抗：1000ΜΩ
電阻率范圍：10-3~1.9×103Ω·cm
方塊電阻范圍：10-2 ~1.9×10^4Ω/□
具有電壓表自動復零功能，當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值。
測量精度：＜3%
電流量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA五檔
采用觸點電阻＜5mΩ的轉換開頭及繼電器（＞10%）
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